大功率半导体测试系统
日立能源设计、制造并提供符合 CE 标准的定制
功率半导体测试系统。
日立能源为各种环境提供测试系统，如研发、实验室、生产或故障分析。保证最高质量、安全处理以及远程或现场服务能力。
大功率半导体测试系统
日立能源为大多数类型的功率半导体器件提供静态和动态生产测试系统。可以处理模具、基板、子模块、模块、晶圆和压接封装器件。此外，还提供用于高温反向偏置、间歇工作寿命或浪涌电流测试的可靠性测试系统。辅助测试仪部件包括钳位、电容器放电、预热、数据采集和参数提取单元以及可编程 IGBT 和晶闸管栅极单元。
参数
日立能源测试系统涵盖范围高达 14 千伏和 10 千安，并使用低至 60 nH 的可配置杂散电感。在测试期间，对于生产系统，钳住的被测器件 (DUT) 可精确加热至 200°C，对于工程系统，可在环境室中冷却至 -40°C。夹紧装置可处理直径达 240 mm 的器件，夹紧力高达 240 kN。
自动化
我们的测试系统设计用于轻松集成到自动化处理设备中。测试系统的软件兼容商业控制系统，如制造执行系统 (MES) 和计算机辅助质量保证 (CAQ)。
- 双极测试系统
- IGBT 和 SiC MOSFET 测试系统
| 晶闸管和二极管静态/动态 | GTO 和二极管静态 | GTO 和二极管动态 | |
交流或直流阻塞电压 |
X | X | X |
|---|---|---|---|
| 栅极特征 | X | X | |
| 导通状态，正向电压 |
X | X | |
| 反向恢复电荷 | X | X | |
| 临界 dV/dt | X | ||
| 电路换向关断时间 | X | ||
| 导通/关断 | X | X |
可靠性测试系统
- 高温反向偏置
- 间歇运行寿命/功率循环
- 浪涌电流
- 频率测试仪
辅助装置
- 夹紧装置
- 电容器放电单元
- 预热装置
- 可编程 IGBT 和晶闸管栅极单元
- 数据采集和参数提取单位
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